| MOCVD生长的GaN单晶膜透射光谱研究 |
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| 引用本文： | 万凌云,莫春兰,彭学新,熊传兵,王立,江风益.MOCVD生长的GaN单晶膜透射光谱研究[J].发光学报,2002,23(4):352-356. |
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| 作者姓名： | 万凌云 莫春兰 彭学新 熊传兵 王立 江风益 |
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| 作者单位： | 南昌大学材料科学研究所教育部发光材料与器件工程研究中心,江西南昌,330047 |
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| 基金项目： | 国家863计划新材料领域资助项目（715-001-0012） |
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| 摘 要： | 采用MOCVD技术在Al2O3(0001)衬底上生长了GaN薄膜，使用透射光谱、光致发光光谱和X射线双晶衍射三种技术测试了五类GaN薄膜样品，实验结果表明：GaN薄膜透射谱反映出的GaN质量与X射线双晶衍射测量的结果一致，即透射率越大，半高宽越小，结晶质量越好；而X射线双晶衍射峰半高宽最小的样品，其PL谱的带边峰却很弱，这说明PL谱反映样品的光学性能与X射线双晶衍射获得的结晶质量不存在简单的对应关系，同时还报导了一种特殊工艺生长的高阻GaN样品的RBS／沟道结果。
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| 关 键 词： | 单晶膜 GaN MOCVD 透射光谱 X射线双晶衍射 PL谱 RBS／沟道 薄膜生长 |
| 文章编号： | 1000-7032(2002)04-0352-05 |
| 修稿时间： | 2001年11月12 |
Optical Transmission Study on GaN Films Grown by Metal-organic Chemical Vapor Deposition |
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| WAN Ling-yun,MO Chun-Ian,PENG Xue-xin,XIONG Chuan-bing,WANG Li,JIANG Feng-yi.Optical Transmission Study on GaN Films Grown by Metal-organic Chemical Vapor Deposition[J].Chinese Journal of Luminescence,2002,23(4):352-356. |
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| Authors: | WAN Ling-yun MO Chun-Ian PENG Xue-xin XIONG Chuan-bing WANG Li JIANG Feng-yi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | GaN MOCVD optical transmission spectra double crystal X-ray diffraction photoluminescence RBS/channeling |
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