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PtSi超薄膜厚度的一种检测方法研究   总被引:4,自引:0,他引:4       下载免费PDF全文
介绍了采用角分辨X-射线光电子解谱(angle resolved X-ray photoelectric spectrum(ARXPS))测试薄膜不同角度光电子能谱强度,计算电子平均自由程,从而计算出PtSi超薄膜厚度的方法,并给出其透射电子显微镜(TEM)晶格象验证结果.实验表明该方法简单易行,适用于其他超薄膜厚度的测量 关键词: PtSi超薄膜 小角度X射线电子能谱 TEM晶格象  相似文献   
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吡咯烷类及有关的手性二胺配体通过使用氯化锌-多聚甲醛-硼氢化钾或硼氢化钠一锅煮反应进行烷基化,具有产率高、操作简易等优点。  相似文献   
4.
刘志煜  杨家德 《有机化学》1999,19(3):271-277
吡咯烷类及有关的手性二胺配体通过使用氯化锌-多聚甲醛-硼氢化钾或硼氢化钠一锅煮反应进行烷基化,具有产率高、操作简易等优点。  相似文献   
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