非平衡磁控溅射法类金刚石薄膜的制备及分析

利用非平衡磁控溅射物理气相沉积技术制备了光滑、致密、均匀的类金刚石薄膜.分析沉积工艺参数对所得类金刚石薄膜的电学特性的影响以及溅射粒子的大小、能量、碰撞及沉积过程中的相变机理后认为：溅射粒子越小、与环境气体分子的碰撞次数越多、与衬底相互作用时具有适当动量等，能够有效提高薄膜中sp^３杂化碳原子的含量.利用拉曼光谱 、纳米力学探针、红外光谱、扫描电镜等分析了所得类金刚石膜的结构、力学及光学性能、 表面形貌等特征.结果表明，类金刚石膜中sp^３杂化碳原子的含量较高，显微硬 度大于11GPa，薄膜光学透过率达到89.4％，折射系数为1.952，沉积速率为0.724μm/h，表 面光滑、致密、均匀，不存在明显的晶粒特征. 关键词： 非平衡磁控溅射 类金刚石膜 拉曼光谱 红外光谱     

美国PM2.5采样器校准方法总结

介绍美国PM2.5采样器的分类,从采样时间、滤膜称量、流量、温湿度要求和采样器性能指标等方面总结了美国PM2.5联邦参考方法采样器的校准方法。介绍美国PM2.5联邦等效方法采样器的分类及3个等级PM2.5联邦等效方法采样器的不同校准方法,以及PM2.5单分散气溶胶两种常用制备方法的制备步骤,以期促进完善我国PM2.5监测仪量值溯源体系。