基于超精密激光直写系统制作二维光栅

二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200 line/mm的二维光栅掩模。原子力显微镜和扫描电镜结果表明,所制作的掩模轮廓清晰,空间分布均匀。实验结果证明了超精密激光直写系统能够制作出二维光栅掩模,在制作大尺寸、高精度二维计量光栅方面有着广阔的应用前景。     

Narrow-wavelength-spread spectral combining laser with a reflector for a double pass with a single grating

We proposed a novel wavelength-spread compression technique for spectral beam combining of a diode laser array. A reflector, which is parallel to the grating, is introduced to achieve a double pass with a single grating.This facilitated the reduction of the wavelength spread by half and doubled the number of combined elements in the gain range of the diode laser. We achieved a power of 26.1 W under continuous wave operation using a19 element single bar with a wavelength spread of 6.3 nm, which is nearly half of the original wavelength spread of 14.2 nm, demonstrating the double-compressed spectrum capability of this structure. The spectral beam combining efficiency was 63.7%. The grating efficiency and reflector reflectance were both over 95%; hence, the efficiency loss of the double-pass grating with a reflector is acceptable. In contrast to double-grating methods,the proposed method introduces a reflector that efficiently uses the single grating and shows significant potential for a more efficient spectral beam combining of diode laser arrays.     

基于一阶仄勒展开式的迭代最小二乘相移新算法

提出了一种新的最小二乘迭代算法，能有效消除因相移器存在导向误差面相移平面倾斜从而导致的相移误差。当相移器存在的相移误差包括位移误差与倾斜误差时，同一幅干涉图诸像素点的相移并不同步，但其相移量在同一平面上。求解此平面，即可消除相移误差。通过求新由一阶泰勒展开式得到的线性方程组，避免了为求解此平面而求解非线性议程组最小二乘解的过程，使算法简化，利用迭代法，保证求解的精度。并通过数值模拟，验证了这种算法在消除较大的相移器倾斜及位移误差影响上具有良好的效果。     

运用泽尼特多项式的相位去包裹算法

提出了一种新的相位去包裹算法，主要针对光学光滑表面以及由于少数低调制度点、散斑点、噪声或灰尘（以下简称误差点）引起的去包裹失败的情形。该算法运用泽尼特（Ｚｅｒｎｉｋｅ）多项式对误差点区域进行拟合，通过一定阈值的设置，将误差点清除并予以拟合，具有计算快速的特点。     

光栅腔BBO光参量振荡器

报道０．５３２μｍ泵浦的光栅腔ＢＢＯ光参量振荡器的实验研究结果，在１．０２－１．０８μｍ可调谐范围内，其输出线宽小于１ｎｍ，参量转换效率为３．５％。     

光参量振荡器线宽研究

对０．５３２μｍ波长光泵浦的ＢＢＯ光参量振荡器产生线宽的机制进行了详细分析和计算，结果与实验基本一致，实验结果表明泵浦光发散角是产生线宽的主要因素。文中的分析方法可推广至其它单轴晶体光参量振荡器线宽的分析。     

基于一阶泰勒展开式的迭代最小二乘相移新算法

提出了一种新的最小二乘迭代算法 ,能有效消除因相移器存在导向误差面使相移平面倾斜从而导致的相移误差。当相移器存在的相移误差包括位移误差与倾斜误差时 ,同一幅干涉图诸像素点的相移并不同步 ,但其相移量在同一平面上。求解此平面 ,即可消除相移误差。通过求解由一阶泰勒展开式得到的线性方程组 ,避免了为求解此平面而求解非线性方程组最小二乘解的过程 ,使算法简化。利用迭代法 ,保证求解的精度。并通过数值模拟 ,验证了这种算法在消除较大的相移器倾斜及位移误差影响上具有良好的效果。