纳米表面相互作用及振动测头模型

如何实现高精度的测量是现代制造业及微电子技术领域的热点问题之一. 基于微纳米测头的三坐标测量机是当前实现高精度测量的重要手段. 随着测量尺寸的减小, 常用的纳米/微纳尺度的测头与待测表面之间形成静态接触, 其表面相互作用成为了影响其测量精度和可靠性的关键因素之一. 本文基于一种触发式振动测头, 研究了其动力学模型, 并通过对测头纳米尺度表面相互作用的理论分析及数值模拟, 确立了测头振动参数与表面相互作用之间的关联. 实验研究表明, 参数优化后的谐振微纳测头能有效抑制表面作用带来的干扰, 提高测量精度.     

低温泵抽气性能测试平台的抽速测量不确定度研究

抽速是决定低温泵抽气性能的关键参数,高质量的抽速测试结果可有效指导低温泵的工程设计与实验运行。介绍了低温泵抽气性能测试平台的组成和抽速测量的基本原理,分析了压力和充气量的不确定度分量来源,研究了各不确定度分量的估计与合成,确定了低温泵的抽速测量不确定度,给出了抽速测量结果的完整表述,探讨了降低抽速测量不确定度、提高测量结果质量所采取的措施。研究结果对合理配置低温泵抽气性能测试平台、优化实验方案、提高抽速测量结果可靠性有指导意义。     

提高三坐标测量机应用精度的分析与计算

三坐标测量机对空间任意直线测量时 ,如果将其标准尺用线性球列代替 ,使线性球列空间化 ,再通过特定的分析和处理 ,求得空间线段的测量误差 ,实现对三坐标测量机的精度检定。文中对该检定方法进行了深入细致的精度分析与计算 ,检定不确定度评定结果表明 :该检定方法符合坐标测量机检定规程的要求 ,并且具有较高的检定精度 ,不失为有关系统提供了一种可操作性强、应用成本低的好方法