AlGaInP/GaAs HBT制备中质子注入隔离

对HBT工艺中质子隔离注入及其掩膜方法进行了研究.通过计算确定了最佳注入剂量.在一定的温度下退火,可增强隔离效果,最佳退火温度依赖于离子注入剂量,当温度增高时,电阻率又开始下降,并趋向恢复到退火前的状态.采用Si3N4加光刻胶双层掩膜,工艺简单,重复性好,样品无沾污现象,隔离效果佳,制备的器件直流特性较好. 关键词：     

基于分形特征和双层光子带隙结构的宽阻带低通滤波器

提出一种新颖的基于分形特征和双层光子带隙（PBG）结构的宽阻带低通滤波器. 该滤波器在接地板上刻蚀一阶Sierpinski carpet PBG结构，在顶层微带线与接地板之间增加一层具 有三阶Sierpinski gasket PBG结构的金属层，该金属层经过打通孔与接地板连通. 这种双 层PBG结构的低通滤波器，具有良好的宽阻带特性，且电路尺寸小、结构紧凑. 对比了单层 普通方孔PBG结构的低通滤波器、单层一阶Sierpinski carpet PBG结构的低通滤波器和双层 分形PBG结构低通滤波器的传 关键词： 低通滤波器 双层PBG结构 分形 宽阻带特性     

1-苄基-5-烷氧基海因的合成

以苄胺和氯乙酸为原料合成了N-苄基甘氨酸盐酸盐,然后与氰酸钾缩合环化合成了1-苄基海因,再经溴化、烷氧基化反应合成了3种海因衍生物,其中2种未见文献报道.产物经元素分析、IP和1H NMR确证.