形位误差光电检测系统研究

简述了形位误差光电检测系统的结构和工作原理 ,为保证扫描速度均匀 ,利用激光特性而设计特殊的光学系统。为满足检测系统需要而设计了精密机械系统 ,伺服控制系统 ,电子学和计算机数字计算与数据处理系统 ,实现了高速、高效、高精度、非接触的自动检测。