准直小孔法自动调焦在激光直写入系统中的应用

本文介绍了一种新的自动调焦方法准直小孔法.对自动调焦的原理和后继电路处理方法作了详细的分析.它具有响应时间短、灵敏度高,能够很好的在激光直接写入系统中克服物镜工作台运动中导轨的不平和轴向窜动所造成的离焦。