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为了研究局域真空环境中微波等离子体喷流电子数密度的分布规律及其影响因素,利用发射/郎缪尔探针测量等离子体的空间电位,再测量等离子体的电流-电压特性曲线,根据空间电位测量结果,在等离子体的电流-电压特性曲线上能准确地获取饱和电流,从而处理出电子数密度.最后的诊断实验表明:在有约束边界条件下,微波等离子体发生器以60 W以下的微波功率击穿流量范围是21—105 mg/s的氩气时,所产生的喷流中电子数密度分布在8.8×1014—7.53×1016/m3关键词:
等离子体诊断技术
等离子体基本过程
等离子体基本特性 相似文献
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在真空环境中,利用空间反射电磁波测量装置,开展微波等离子体喷流对垂直和水平极化电磁波衰减的实验研究,分析不同极化电磁波在等离子体中衰减的影响因素.实验结果表明:以氩气为工质,真空室中微波等离子体喷流对垂直和水平极化电磁波具有显著的吸收效应.发生器流量、功率以及实验真空度对垂直极化电磁波在等离子体中的衰减影响明显.真空度和发生器功率对水平极化电磁波没有显著影响.
关键词:
等离子体中的电磁波
等离子体基本性质
电磁波 相似文献
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