微球湿度传感的模拟和实验研究(英文)

详细研究了微球传感应用领域的机制和过程,并给出了优化其传感特性的实验方案。同时研究了微球水汽传感应用的可行性。对两个不同的腔环境(水汽和无水汽)中微球的透射谱分别进行了分析。在实验之前,还进行了软件仿真。在两种情况下,仿真结果和实验得出的透射谱都发生了显著变化,这验证了微球对湿度的敏感性。     

光纤湿敏球腔传感采集校准组合装置的技术问题初探

本文研制了一种光纤耦合湿敏监测装置,此装置采用MEMS微位移传感器来进行湿敏微腔耦合位置的辅助校准,再用光强传感器对耦合输出的光波进行湿度感测和量化。这种基于MEMS位移传感器的耦合位置校准方法与现有的校准平台相比,无需外加太多繁琐、庞大的仪器装置,就可获得精准又便捷的校准效果。另外在传感系统后端可进行可编程控制程序开发,用加载的数据采集卡来实现湿度敏感单元敏感量的采集与显示。     

实施圆球微腔特性试验的优化方案探索

研究圆球微腔传感应用的详细实验过程, 给出传感特性验证通用的优化实验方案。微球与环境的折射率差别越小, 半径越小, 其灵敏度越高。加工时应使用高精度热源为佳, 并进行CCD监视, 融化形成球立即停止加热。提出了圆球微腔用作测试水蒸汽的湿敏传感器的应用方向。