飞焦级激光能量计校准系统及方法研究

为了解决飞焦级激光能量计的校准问题，提出了一种专用的校准系统和方法。该系统采用固定和可变二级衰减机构相结合的方式，实现了对响应波长1 064 nm、脉宽5 ns～1 μs、飞焦量级的激光能量计的校准。阐述了校准系统的工作原理、设备组成和方法。对系统的关键组件和整机性能进行了描述，并给出了相应的测试结果，能量重复测量的不确定度为3%，系统的测量不确定度可以达到11%。最后，提出了该校准系统未来的改进方向。