快速三维扫描系统的研究

分析了三维扫描系统存在的问题及原因,提出了基于DSP的快速图象采集及处理系统的结构,这种主从式结构大大提高了三维扫描的速度,显著的改进了三维扫描系统的性能。     

光纤传感器在微机电系统振动测量中的应用

本文介绍的光纤传感器根据Michelson干涉仪的原理,通过测量相干光的干涉条纹的移动来测量反射面的位移.同时,利用宽带光源,采用相位跟踪技术测量极微小的位移和位移的方向.从而,既能测量nm级极微小的振动,也能测量mm级的振动.为了适应高频振动的测量,引入DSP充当数据处理系统的核心,提高处理速度.该光纤传感器设计巧妙,精度高,使用方便.     

三维扫描技术在薄膜厚度分布测量中的应用

提出了利用相位跟踪法测量薄膜厚度分布的新方法,介绍了测量系统各部分的结构,给出了测量结果.实验表明,对于硅片上的PbTiO3薄膜,测试误差小于7 nm.