椭偏光仪和薄膜测量

一、薄膜技术的广泛应用对 厚度测量提出的新要求 薄膜技术在近代科学技术中应用很广.在光学部件和仪器中,薄膜的使用是很重要的;特别是在激光技术中,薄膜技术更发展成为制造光学谐振腔等的重要工艺.在电子器件、金属材料表面保护、摄影、彩色电视、化纤材料、标准计量、物化分析等许多方面,薄膜都得到愈来愈多的应用.在物理、化学、天文、生物学、医药学等学科中,薄膜技术也是一种有用的研究手段. 对于半导体器件和集成电路,当前主要的基础工艺是硅平面工艺,就是在硅片上生长和光刻氧化硅膜.大规模MOS集成电路中的“O”,就是栅极和半导体…