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介绍在红外傅里叶交换光谱仪内设置一种变角装置,可以使入射角在12°~17°范围内改变,并具有高精度和可靠性。 相似文献
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用脉冲多弧离子放电技术镀制类金刚石薄膜及其化学结构和物理特性 总被引:1,自引:0,他引:1
利用脉冲多弧离子镀膜技术,以石墨为阴极镀制的无定形碳膜,其化学结构可用Raman光谱仪进行。薄膜的硬度和电阻率物理特性,可用常规方法测量。 相似文献
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近年来,光声光谱技术由于它的高灵敏度及装置简单等优点而得到了广泛的应用[1].我们利用光声法研究了C2H5OH的多光子离解产物C2H4,提供了测定C2H4产物增长速率的简单可靠的方法.Danen曾用红外光谱及气相色谱法检测了C2H5OH的离解产物[2],但因灵敏度有限,只能通过在较高的气压条件下多次辐照后才能探测出生成物的含量.因此,用上述方法研究C2H4产物的增长规律是很困难的.如果用光声法,采用 CW CO2激光器做光源,就可以方便地检测到每次激光辐照后C2H4生成物的单次产额、相对浓度及C2H4增长规律等数据,为研究红外多光子离解提供了一个… 相似文献
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比较2种溅射方法镀制的氧化硅薄膜 总被引:1,自引:1,他引:0
比较了磁控反应溅射(RMS)法与离子束反应溅射(RIBS)法沉积得到的氧化硅薄膜的光学特性,并确定了其对折射率n、消光系数k、沉积速率和混合工作气体Ar/O2中氧含量的依赖性关系。工作气体中O2含量大于15%时通过RMS法沉积的氧化硅薄膜在0.63μm波长折射率约为1.52~1.55,消光系数低于10-5。当O2含量在80%以上时RIBS方法沉积氧化硅薄膜的折射率n=1.52~1.6,消光系数低于10-5。用RMS沉积SiO2薄膜,当氧气量超过15%时发生反应模式,此时沉积速率下降近5倍。而用RIBS时,沉积速率并不依赖氧气在混合工作气体中的含量。 相似文献
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离子束反应溅射沉积SiO2薄膜的光学特性 总被引:1,自引:0,他引:1
主要研究采用离子束反应溅射(RIBS)制备SiO2薄膜的折射率、消光系数、化学计量比与氧气在氩氧混合工作气体中含量及其沉积速率的关系。研究结果表明:RIBS制备的SiO2薄膜在0.63 μm处折射率n= 1.48,消光系数小于10-5;随着沉积速率的增加,薄膜的折射率和消光系数随之变大,当沉积速率超过0.3 nm/s,即使是在纯氧环境溅射,折射率值也不低于1.5;通过对红外透射光谱的主吸收峰位置研究得到沉积的SiO2薄膜为缺氧型,化学计量比不超过1.8,且红外吸收峰位置和SiO2折射率存在对应关系,因此在不加热衬底情况下使用RIBS制备SiO2薄膜时,会限制沉积速率的提高。 相似文献
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