用α能损法测量薄膜厚度所需真空度的确定方法

用能损法测量薄膜厚度及其厚度分布的均匀性是一种有效的新方法,但这种测量必须在真空室内进行,如何恰当地选择真空度对于提高测量精度和降低真空系统的建造成本都具有重要意义。通过采用SRIM软件模拟5.486 MeV 粒子在空气中的阻止本领,计算出在不同真空度时,从241Am源发出粒子穿过不同距离达到探测器时的能量损失,得到粒子能量损失与真空度的关系。根据这一关系,结合所建能谱仪在测量过程中的稳定性和重复性,建立了用粒子测量薄膜厚度所需真空度的确定方法,并用这一方法得到了在源与探测器距离为2~8 cm时,小于100 Pa的真空度能完全满足测量要求的结果。