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利用电子束沉积技术首次制备了氟化铒 (ErF3) 掺杂的氧化铟(In2O3)透明导电薄膜(IEFO),研究了薄膜的晶体结构、光学特性和电学特性。利用原子力显微镜测试了不同厚度薄膜的形貌,初步研究了薄膜的生长过程。研究发现:IEFO薄膜为多晶结构,Er原子的掺入改变了薄膜的优势生长方向,使薄膜在(211)、(222)、(444)3个方向上的生长趋势基本相同。 薄膜电阻率为1.265×10-3 Ω·cm,电子迁移率为45.76 cm2·V-1·s-1,电子浓度为1.197×1020 cm-3,在380~780 nm范围内的可见光平均透过率为81%。 相似文献
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