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原子力显微镜   总被引:8,自引:0,他引:8  
研制成功了一台使用光学偏转法检测的原子力显微镜,通过对云母、光栅、光盘等样品的观测证明仪器达到原子分辨率,最大扫描范围可达7μm×7μm。文中将对这台原子力显微镜的原理、结构及一些应用结果进行讨论。  相似文献   
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