单晶锗双面抛光工艺

<正> 单晶锗光学零件在激光和红外技术中的广泛应用,促进了晶体加工技术的发展。如何提高锗光学零件的平行度和表面光洁度已成为亟待解决的技术问题,因为平行度和光洁度的好坏直接影响着光学膜层的牢固度以及产品的使用性能,其中平行度的优劣对二氧化碳激光器输出功率的影响很大。过去对平行度要求在20″以内的高精度锗平镜的加工,确保质量的加工方法是采用光胶,而晶体零件的光胶,环境条件要求严格,工艺复杂,表面光洁度也难以保证。为此,我