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采用二维滞止流模型,讨论了工业洁净室内不同送风速度下,气溶胶粒子分别受重力和电场力作用及二者联合作用时在工作台表面或晶片上的沉积特征。通过与相关文献提供的实验数据的对比,确认了这种预报超细粒子沉积行为的方法。 相似文献
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