酸和碱催化制备二氧化硅溶胶及其稳定性

以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,氨水和盐酸为催化剂,制备了SiO2溶胶;研究了pH值对溶胶的稳定性以及SiO2粒子生长方式的影响.结果表明,在酸性条件下,随着pH值的增加,凝胶时间呈现先变长后变短的趋势;而在碱性条件下,凝胶时间随pH的增大快速增加.透射电镜(TEM)和动态光散射(DLS)分析结果表明,溶胶中的SiO2粒子处于纳米量级,且两种催化条件下粒子的粒径分布存在明显差异.     

热丝CVD法制备a-Si1-xCx薄膜的光电性能研究

本文以硅烷、乙炔和氢气为气源,采用热丝CVD法制备了非晶碳化硅薄膜.通过FITR、紫外-可见光分光光度计、四探针仪、台阶仪和霍尔效应测试仪对薄膜的光学和电学性能进行了系统的研究.结果表明,随着乙炔气体流量的增加,薄膜中碳含量和薄膜光学带隙呈现逐渐递增的趋势,其中光学带隙由1.7 eV上升到2.1 eV.同时还发现B掺杂薄膜的空穴浓度随着B2H6与硅烷流量比的增大而显著增大,而霍尔迁移率的变化趋势则与空穴浓度的变化趋势相反,与二者对应的总体效果是薄膜的电阻率首先显著下降,然后缓慢下降至最小值1.94Ω·cm,此后电阻率略有上升.