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1.
研究了衬底的Al化处理对采用MOCVD法在c面蓝宝石衬底上高温生长AlN外延层的影响机制.通过原位监测监控整个外延生长过程,同时对AlN外延层的表面形貌和晶体质量以及应变状态进行表征研究.结果表明衬底的Al化处理导致AlN外延层的表面更加平整但是晶体质量下降,同时对外延层的应变也有很明显的影响.  相似文献   
2.
贾辉  梁征  张玉强  石璐珊 《发光学报》2018,39(7):997-1001
在r面蓝宝石衬底上,采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法高温生长了未掺杂非极性AlGaN半导体薄膜,在此基础上制备了金属-半导体-金属(MSM)结构的紫外探测器。系统研究了在AlGaN半导体薄膜表面分别磁控溅射SiO2纳米颗粒与SiO2钝化层两种钝化手段对非极性AlGaN-MSM结构的紫外探测器性能的影响。实验结果表明:磁控溅射SiO2纳米颗粒钝化或SiO2钝化层两种手段都能提升AlGaN-MSM结构紫外探测器性能。暗电流测试表明,SiO2纳米颗粒和SiO2钝化层可使器件暗电流下降1~2个数量级,达到nA量级。光谱响应测试发现,在5 V偏压下,探测器在300 nm处具有陡峭的截止边,这表明其具有很好的深紫外特性,光谱响应提高了103倍,紫外可见抑制比高达105。  相似文献   
3.
随着军事改革的深入,对部队院校人才培养也提出了更高的目标与要求。普通物理作为一门基础学科,传统的普通物理教学模式已经不能满足时代的要求。随着科技的发展与教学手段的丰富,探索出新的普通物理教学模式与方法-演示实验选修进入普通物理课堂的教学方法。结合普通物理的教学实际,阐述了普通物理课堂引入演示实验必要性,并指出了普通物理演示实验中存在的困难。  相似文献   
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