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专业分类

晶体学

1篇

出版年

2007年

1篇

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磷扩散法制备P型ZnO薄膜

丁瑞钦朱慧群曾庆光林民生冯文胜梁毅斌梁满堂梁达荣《人工晶体学报》2007,36(4):859-862

应用射频反应磁控溅射的方法,将ZnO薄膜沉积于高磷掺杂的n+型Si衬底上.在沉积和后退火过程中,磷向ZnO薄膜扩散并被激活,使ZnO薄膜由n型转化为p型,从而形成p型ZnO薄膜.X射线衍射分析(XRD)证明了所制备的ZnO薄膜都是高c轴取向的六角纤锌矿结构的薄膜.电学I-V关系曲线的整流特性和空穴浓度≥1.78×1018 /cm3的霍耳效应测试结果证明了p型ZnO薄膜的形成. 相似文献