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晶体学
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2004年
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1.
论直拉单晶炉技术平台的逻辑演进
许扬
赵一谦
李剑侠
郑伟民
田炜
丁积军
《人工晶体学报》
2004,33(3):448-454
要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替,与此对应,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进.第四代产品研发需要在以往技术积累基础上,在炉室材料、炉体结构、焊接工艺、机械传动和电气控制、计算机智能控制、磁场发生装置和热场材料等方面进行新一轮技术创新.
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