工件位置对薄膜沉积速率的影响

研究发现在实际的DLC薄膜沉积过程中,薄膜的沉积速率与工件所处的位置有关,在同一装置内沿轴向取30 mm为间隔放置工件进行薄膜沉积,沉积一小时后三个工件表面薄膜沉积厚度依次为2.4 μm、2.1μm、1.8 μm.通过有限元模拟软件Ansys对这种现象进行了分析,沉积装置内部气体的压强和气体质量分数分布变化不大,而装置不同位置处工件表面气体流速和气体密度有明显的变化,三个工件表面气体流速依次为0.072 ～0.103 m/s,0.089～0.121 m/s,0.114 ～0.148 m/s,气体密度为6.37e-5 kg/m3,5.81e-5 kg/m3,5.18e-5 kg/m3.因此,在沉积过程中,不同位置处的薄膜沉积速率的主要影响因素是气体流速和气体密度.     

铝基氧化铜干法烟气脱硫及再生研究

采用浸渍法制备了XP型和DS型两种铝基氧化铜脱硫剂，并利用制得的脱硫剂进行了烟气循环脱硫-再生实验，同时利用BET、XRD和EPMA等方法研究了载体性质对脱硫剂性能的影响以及脱硫剂的表面微观结构在脱硫和再生过程的变化。实验和分析表明，用于制备脱硫剂的载体应同时具备较大的比表面积和合适的孔结构，实验条件下制得的铝基氧化铜脱硫剂的脱硫效率可达90％，该脱硫剂在多次循环脱硫-再生过程中性能保持稳定。