Characteristics of dual-frequency capacitively coupled SF_6/O_2 plasma and plasma texturing of multi-crystalline silicon

Due to it being environmentally friendly, much attention has been paid to the dry plasma texturing technique serving as an alternative candidate for multicrystalline silicon(mc-Si) surface texturing. In this paper, capacitively coupled plasma(CCP) driven by a dual frequency(DF) of 40.68 MHz and 13.56 MHz is first used for plasma texturing of mc-Si with SF6/O2gas mixture. Using a hairpin resonant probe and optical emission techniques, DF-CCP characteristics and their influence on mc-silicon surface plasma texturing are investigated at different flow rate ratios, pressures, and radio-frequency(RF)input powers. Experimental results show that suitable plasma texturing of mc-silicon occurs only in a narrow range of plasma parameters, where electron density n9e must be larger than 6.3 × 10cm-3and the spectral intensity ratio of the F atom to that of the O atom([F]/[O]) in the plasma must be between 0.8 and 0.3. Out of this range, no cone-like structure is formed on the mc-silicon surface. In our experiments, the lowest reflectance of about 7.3% for mc-silicon surface texturing is obtained at an [F]/[O] of 0.5 and ne of 6.9 × 109cm-3.     

CO2/C3H6O在金属氧化物耦合吡咯氮生物炭表面的共/竞吸附机理研究

本研究采用密度泛函理论,通过比较吸附量、吸附能以及态密度和电荷差分密度的分析,探究了不同金属氧化物耦合吡咯氮生物炭(CN5@MO_x,MO_x=ZnO、CaO、Na₂O)表面CO₂与C₃H₆O(CO₂&C₃H₆O)的吸附机理。首先从CO₂/C₃H₆O单组分方面计算了其在CN5@MO_x表面吸附量和吸附能,计算结果表明,在333 K、100 kPa时CN5@Na₂O表面对CO₂/C₃H₆O单组分吸附量分别为3.65、15.34 mmol/g,吸附能分别为-145.86、-132.47 kJ/mol,均高于CO₂/C₃H₆O单组分在CN5@CaO及CN5@...     

“参与式”教学模式在药学有机化学实验中的应用

介绍了"参与式"教学模式的概念和特征。并且重点介绍了药学专业有机化学实验开展"参与式"教学的方案,以"乙酰水杨酸的制备"实验项目为例,阐叙了"参与式"教学开展的具体步骤和过程,学生和教师在教学过程中所承担的任务和扮演的角色等。通过"参与式"教学模式的开展,学生的自主学习能力和创新能力得到了很大的提高。     

电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响

本文利用朗缪尔静电探针对掺入了电负性气体O₂, Cl₂, SF₆的由4068 MHz激发的单射频容性耦合Ar等离子体进行了诊断测量. 测量结果表明: 随着电负性气体流量的增加, 电子能量概率分布函数出现了高能峰, 高能峰且有向高能侧漂移的现象; 电负性气体掺入Ar等离子体后显著降低了等离子体的电子密度; 电子温度随着电负性气体流量比的增加而升高. 另外, 本文还测量了掺入三种电负性气体后在不同流量比下的混合气体等离子体的电负度α . 对实验现象进行了初步的解释. 关键词： 电负性等离子体 电子密度 电子温度 电负度     

悬浮型微波共振探针在电负性容性耦合等离子体中电子密度的测量

本文首先利用悬浮型微波共振探针测量了Ar等离子体的电子密度,并与朗缪尔双探针的测量结果进行了比较,表明了微波共振探针在低密度等离子体测量的可行性.对40.68 MHz单射频容性耦合Ar/SF₆和SF₆/O₂等离子体的测量结果表明:电负性气体SF₆掺入Ar等离子体显著降低了等离子体电子密度,但随着增加SF₆的流量,电子密度表现为缓慢下降;而O₂掺入SF₆等离子体中,电子密度则随着O₂流量的增加表现为持续的下降.另外,40.68 MHz/13.56 MHz双频激发的SF₆/O₂容性耦合离子体的电子密度并不随低频功率的变化而变化.本文对上述的实验现象进行了初步的解释.     

一步温和水热法制备具有改善光催化活性和稳定性的碳包覆CdS纳米粒子

首次报道在130oC低温条件下,以乙酸镉和葡萄糖分别作为镉源和碳源,硫脲同时充当硫源和葡萄糖水热碳化的催化剂,通过一步水热碳化法制备了碳包覆的CdS (CdS@C)纳米材料。与相同条件下制备的纯CdS相比,合成的CdS@C粒子具有更小的粒子尺寸、良好的分散性以及更均匀的粒子分布。而且,葡萄糖在水热碳化过程中能够促使CdS优先形成立方晶相。此外,粒子表面的碳物种能拓宽CdS的可见光吸收范围,稍微降低它的带隙能,减缓CdS的光生电子-空穴对的复合和光腐蚀。因此,它能改善CdS在可见光辐射下催化氧化降解甲基橙的活性和稳定性。