聚酰亚胺LB膜真空热解制备β-SiC膜的STM观察

扫描隧道显微镜 ( STM)是一种基于量子隧道效应对样品进行高分辨无损测试的表面测试技术 [1] ,它可以在原子水平上反映表面分子或原子的排列分布情况 ,在物理、化学、生物和微电子界受到高度的重视 .STM技术以及其后发展起来的原子力显微镜 ( AFM)特别适合 LB膜的研究 ,能直观地反映出 LB膜中分子排列的微观结构以及表面缺陷 [2 ,3] .我们曾通过真空热解沉积在单晶硅片上的聚酰亚胺L B膜制得了准单晶β- Si C超薄膜 [4～ 6 ] .本文利用 STM技术对聚酰亚胺 LB膜以及由它真空热解而成的 Si C膜的表面形态结构进行了初步观察和分析 .…     

聚酰亚胺LB膜研究 Ⅱ.聚酰胺酸N,N-二甲基十八铵盐LB膜的表征和热分解性能

聚酰胺酸Ｎ,Ｎ－二甲基十八铵盐ＬＢ膜具有严格排列的周期结构,其亚胺化可以在比聚酰胺酸更为温和的条件下进行。测定了沉积在单晶硅片上的聚酰亚胺涂膜的热分解性能。于真空和高温下聚酰亚胺ＬＢ膜会热解并与基片硅反应而生成规则结构的ＳｉＣ准单晶膜。