同步辐射X线光刻

X线光刻是未来亚微米应用的重要微光刻技术、近年来,同步辐射X线光源的应用是技术上一个重要发展,本文叙述了同步辐射X线光刻在微电子技术未来发展中的作用、现状及其基本技术问题。并介绍了我国同步辐射X线光刻的发展情况。     

微光刻技术的发展

 时代的列车飞速地向文明社会驶去.20年前,我们不可思议的彩电、冰箱、录相机等家用电器现在已进入了家家户户,微型计算机已被广泛应用于工业、农业、科研和管理.随着半导体技术的出现,庞大得象楼房似的计算机被缩小到可放在办公桌上,笨重的电子管收音机变形为掌上之物……,这一切都要归功于微电子器件,而微电子器件的生产则与微光刻技术密切相关.让我们一起来看看微光刻技术吧！一、器件和电路发展对科学技术发展的要求微电子技术发展的显著特点是器件几何尺寸日趋微细化,达到亚微米或毫微米量级.     

同步辐射X线光刻

X线光刻是未来亚微米应用的重要微光刻技术、近年来,同步辐射X线光源的应用是技术上一个重要发展,本文叙述了同步辐射X线光刻在微电子技术未来发展中的作用、现状及其基本技术问题。并介绍了我国同步辐射X线光刻的发展情况。