首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部专业
化学
晶体学
力学
数学
物理学
学报及综合类
按
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目英文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
检索
微光刻技术的发展
引用本文:
陈梦真.微光刻技术的发展[J].现代物理知识,1989,0(5):21-22.
作者姓名:
陈梦真
摘 要:
时代的列车飞速地向文明社会驶去.20年前,我们不可思议的彩电、冰箱、录相机等家用电器现在已进入了家家户户,微型计算机已被广泛应用于工业、农业、科研和管理.随着半导体技术的出现,庞大得象楼房似的计算机被缩小到可放在办公桌上,笨重的电子管收音机变形为掌上之物……,这一切都要归功于微电子器件,而微电子器件的生产则与微光刻技术密切相关.让我们一起来看看微光刻技术吧!一、器件和电路发展对科学技术发展的要求微电子技术发展的显著特点是器件几何尺寸日趋微细化,达到亚微米或毫微米量级.
关 键 词:
微光刻技术
x线
亚微米应用
光刻胶
电子束光刻
光源
邻近效应
离子束光刻
微细化
器件结构
收稿时间:
1988-6-15
本文献已被
CNKI
等数据库收录!
点击此处可从《现代物理知识》浏览原始摘要信息
点击此处可从《现代物理知识》下载
免费
的PDF全文
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号