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本文介绍了用普通光刻法制作铅铟变厚微桥的一种工艺.给出了几种不同合金比例、不同桥区膜厚的变厚微桥的低温(4.2K)实验研究结果.  相似文献   
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本文介绍了利用等离子刻蚀方法制备变厚超导铌微桥的工艺,报道了桥区薄膜厚度对微桥I-V特性曲线的影响.  相似文献   
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