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用等离子刻蚀工艺制备变厚超导铌微桥
引用本文:平一梅,续竞荣,陈怀溥,刘聚成,孙自强,王其俊.用等离子刻蚀工艺制备变厚超导铌微桥[J].低温物理学报,1982(2).
作者姓名:平一梅  续竞荣  陈怀溥  刘聚成  孙自强  王其俊
作者单位:西北大学低温物理科研组 (平一梅,续竞荣,陈怀溥,刘聚成,孙自强),西北大学低温物理科研组(王其俊)
摘    要:本文介绍了利用等离子刻蚀方法制备变厚超导铌微桥的工艺,报道了桥区薄膜厚度对微桥I-V特性曲线的影响.

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