在阳极上生成的Nb_2O_5薄膜中的电光效应

本文报导了阳极生成的Nb_2O_5薄膜中电光效应的测量方法和实验结果.发现折射率的改变与场强之间有着与过去文献不同的结果.强电场时幂次为2,弱电场时幂次为1.63.同时观察到折射率的弛豫现象,但没有观察到它的永久性的变化.     

电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究

基于微机电系统工艺,设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小,选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应,仿真结果与实际测得的结果一致.描述了振镜的工艺流程及封装方式,并制备了振镜.实验测得振镜在120mA静态电流驱动下,慢轴和快轴分别能达到的最大转角为±4.5°及±5°,慢轴及快轴的谐振频率分别为348Hz及660Hz,并得到在此谐振频率下的李萨如图形.将器件用于激光成像系统之中,使得散斑对比度下降到4.2%,激光成像质量得到很大提升.     

弯曲振动模式压电超声微马达研究

对一种圆柱状结构、基于弯曲振动模式的压电超声微马达作了一些结构改进性探索和实验研究,并采用有限元方法对其振动模式进行了分析．已研制的直径为15mm、长25mm的微马达样机,显示出非常高的角分辨率（0．01°）、低速（30r／min～70r／min）和大的力矩（0．055N.m）特性,已在激光多维精密控制系统中获得成功的应用．