溅射相关的Pb97.4Sn2.6合金表面现象研究

本文对Pb_97.4Sn_2.6合金表面在溅射时所产生的一些现象进行了研究。实验在室温下,利用PHI-590型扫描俄歇微探针进行。根据理论计算结果对实验数据进行分析后,观察到了溅射增强扩散效应。当Ar⁺离子能量为5千电子伏,离子流密度为70微安/厘米²时,测得锡在合金中的扩散系数为10^-15厘米²/秒量级,影响层厚度约为200埃。 关键词：     

Al/GaAs界面反应的XPS研究

用XPS研究了清洁无序GaAs表面沉积超薄Al膜后的界面反应,结果表明,原沉积于GaAs表面的Al能进入GaAs衬底取代Ga形成AlAs,而通过Al-Ga替位反应释放出来的Ga则残留在衬底表面,提出了Ga/AlAs+GaAs/GaAs三层结构模型。 关键词：     

溅射相关的Pb_(97.4)Sn_(2.6)合金表面现象研究

本文对Pb_(97.4)Sn_(2.6)合金表面在溅射时所产生的一些现象进行了研究。实验在室温下,利用PHI-590型扫描俄歇微探针进行。根据理论计算结果对实验数据进行分析后,观察到了溅射增强扩散效应。当Ar~ 离子能量为5千电子伏,离子流密度为70微安/厘米~2时,测得锡在合金中的扩散系数为10~(-15)厘米~2/秒量级,影响层厚度约为200埃。