| 溅射相关的Pb97.4Sn2.6合金表面现象研究 |
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| 引用本文： | 倪宇红,张强基,陆全康,华中一.溅射相关的Pb97.4Sn2.6合金表面现象研究[J].物理学报,1986,35(12):1646-1651. |
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| 作者姓名： | 倪宇红 张强基 陆全康 华中一 |
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| 作者单位： | 复旦大学现代物理研究所 |
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| 摘 要： | 本文对Pb97.4Sn2.6合金表面在溅射时所产生的一些现象进行了研究。实验在室温下,利用PHI-590型扫描俄歇微探针进行。根据理论计算结果对实验数据进行分析后,观察到了溅射增强扩散效应。当Ar+离子能量为5千电子伏,离子流密度为70微安/厘米2时,测得锡在合金中的扩散系数为10-15厘米2/秒量级,影响层厚度约为200埃。
关键词：
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| 收稿时间： | 4/3/1986 12:00:00 AM |
SPUTTERING RELATED PHENOMENA ON THE SURFACE OF Pb97.4Sn2.6 ALLOY |
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| NI YU-HONG,ZHANG QIANG-JI,LU QUAN-KANG and HUA ZHONG-YI.SPUTTERING RELATED PHENOMENA ON THE SURFACE OF Pb97.4Sn2.6 ALLOY[J].Acta Physica Sinica,1986,35(12):1646-1651. |
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| Authors: | NI YU-HONG ZHANG QIANG-JI LU QUAN-KANG and HUA ZHONG-YI |
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| Abstract: | The surface phenomena of Pb97.4Sn2.6 alloy under the Ar+ ion sputtering have been investigated using PHI-590 scanning Auger microprobe at room temperature. Theoretical analyses of experimental data showed that the ion-bombardment-enhanced diffusion occured with diffusion coefficient up to 10-15 cm2/s and the thickness of alter layer was about 260 ?. The possible explanation is given.
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