射频低压等离子体电子能量分布函数的探针诊断

本文对于无内电极放电的射频低压等离子体,采用探针电流调制法,设计并建立了三探针诊断电子能量分布函数的测量系统,测量了压力在10^-3—10^-1Torr下氮气等离子体的电子能量分布函数。从理论和实验上研究了探针鞘层上射频干扰电压对测量电子能量分布函数的影响,给出了确定射频干扰值以及对射频干扰的影响进行修正的方法,并采用该方法对实验数据进行了修正,得到了正确的电子能量分布函数。根据所得到的电子能量分布函数计算的电子平均能量,与由探针伏安特性计算得到的电子平均能量相差不超过5％,该结果间接证明了本文实验测量系统的可靠性以及对射频干扰影响进行修正的正确性。     

高频电场对双探针法诊断低压等离子体的影响

本文中导出了不论在鞘层上是否存在高频电压降时统一的双探针伏-安特性曲线表达式及确定电子温度的公式。从理论及实验上研究了鞘层上的交流电压对双探针诊断的影响,并求得等离子体在10^-2—10^-3Torr范围内的电子温度,实验的分析结果和理论完全一致。证明当电子能量分布为麦克斯韦分布时,高频干扰对确定电子温度基本上无影响。通过对实验结果的分析,以及用三探针法的相互校核,证明实验结果是可靠的。 关键词：