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微电子机械系统中构件的基本力学量检测 总被引:9,自引:0,他引:9
本文就近几年在MEMS(MicroElectroMechanicalSystems)基本力学量测量技术的最新发展及其特点、意义、进行了较全面的综述。内容包括:MEMS所用材料的基本力学参数测量(如E、G、μ),材料的摩擦与摩损的测量,MEMS结构内应力、应变的测量,结构的动态参数和机构运动速度的测量等,为MEMS的研究提供有益的参考。 相似文献
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