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| 微电子机械系统中构件的基本力学量检测 | |
| 引用本文： | 王琪民,单保祥.微电子机械系统中构件的基本力学量检测[J].实验力学,1997,12(4):487-499. |
| 作者姓名： | 王琪民 单保祥 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学 |
| 摘 要： | 本文就近几年在ＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）基本力学量测量技术的最新发展及其特点、意义、进行了较全面的综述。内容包括：ＭＥＭＳ所用材料的基本力学参数测量（如Ｅ、Ｇ、μ），材料的摩擦与摩损的测量，ＭＥＭＳ结构内应力、应变的测量，结构的动态参数和机构运动速度的测量等，为ＭＥＭＳ的研究提供有益的参考。 |
| 关 键 词： | 微机电系统（MEMS），力学量检测 |
Measurement of Essential Mechanical Characteristics for MEMS and Its Components |
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| Institution: | University of Science and Technology of China |
| Abstract: | |
| Keywords: | microelectromechanical systems measurement of mechanical characteristics |
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