Deposition of Hydrogen-Free Silicon Nitride Thin Films by Microwave ECR plasma Enhanced Magnetron Sputtering at Room Temperature

Hydrogen-free silicon nitride （SiNx） films were deposited at room temperature by microwave electron cyclotron resonance （MW-ECR） plasma enhanced unbalance magnetron sputtering system. Both Fourier-transform infrared spectroscopy and x-ray photoelectron spectroscopy are used to study the bonding type and the change of bonding structures of the silicon nitride films. The results indicate that the chemical structure and composition of SiNx films deposited by this technique depend strongly on the N2 flow rates, the stoichiometric SiNx film, which has the highest hardness of 22.9 GPa, could be obtained at lower N2 flow rate of 4 sccm.     

超声波专题实验开展及其传播特性研究

开设了超声波专题设计综合实验,测量得空气、水和白油中超声波传播速度,研究了同一介质中接收到的交变电压随传播距离的变化规律,空气、水和白油中超声波的损耗系数,水中超声波的损耗系数最大。使用Origin软件直线拟合,对实验结果进行分析和评价。     

ε-Fe_3N磁性液体二阶磁浮力实验研究

磁性液体的二阶磁悬浮原理是一个新颖的磁学实验,将它引入物理实验中,提升为设计性研究性实验项目,培养学生的创新思维和科学素养。使用圆片状钕铁硼永磁体作为实验材料,利用自行设计的非磁性浮子,研究了永磁体在磁性液体中的悬浮高度和二阶磁浮力。研究发现,永磁体厚度相同时,随永磁体直径增加,永磁体的悬浮高度逐渐变高,说明磁性液体对永磁体的二阶磁浮力增大,主要是由于随永磁体直径增加,其磁性增强所致,实验结果与理论研究一致。永磁体直径相同时,随永磁体厚度增加,磁性液体对永磁体的二阶磁浮力逐渐增大,导致永磁体的悬浮高度也逐渐增高。     

动态法测量固体材料杨氏模量

本文使用动力学共振法分别对白钢、黄铜和玻璃的杨氏模量进行测量分析,得到了较好的实验结果,三种材料的杨氏模量均接近其真实值。     

圆形区域上四阶椭圆特征值问题的一种有效Legendre-Galerkin逼近

圆形区域上四阶椭圆特征值问题的一种有效的数值方法,该方法是基于一种降维技巧将原问题化为一系列的一维特征值问题,从而能够利用勒让德谱方法有效地求解。另外,通过利用极小极大原理,还给出了逼近特征值的误差估计。 更多还原     

磁性液体磁表面张力测试及其液膜拉脱过程受力分析

使用拉脱法测量了磁性液体的磁表面张力,根据计算机实时采集电压随时间的变化数据得到U-t曲线,进而将液膜拉脱过程分为6个阶段,分别研究了每个阶段的电压变化原因.无外加磁场作用时2F号磁性液体存在一电压变化较平缓的阶段,而白油和1F磁性液体并未出现此现象,这主要是因为白油和1F磁性液体表面张力较大,2F号磁性液体的表面张力较小造成.有外加磁场作用时,磁性液体的磁表面张力增加,主要是由于外加磁场增强了磁性颗粒之间的相互作用.     

磁性液体表面张力演示实验的实践与分析

本文通过对水和磁性液体表面张力演示实验的研究,分析了液体表面张力存在的内在因素,使学生对表面张力有更深的认识。     

物理实验教学中开展第二课堂,培养学生的创新意识和创新能力

大连大学基础物理实验教学示范中心在＂三段式＂课程体系的基础上,开展了＂公共选修课＂、＂物理实验能手＂和＂学生工作室＂的第二课堂教学活动。通过开展第二课堂的教学活动,提高了学生的动手能力;而且通过完成具体的赛事,学生的潜能真正的发挥,学生的创新意识和创新能力得到培养。     

微波ECR等离子体增强磁控溅射制备SiNx薄膜及其性能分析

利用微波ECR磁控反应溅射法在室温下制备无氢SiN_x薄膜.通过傅里叶红外光谱 、X射线电子谱、膜厚仪、纳米硬度仪、原子力显微镜等分析手段，分析了N₂流 量、Si靶溅射功率等实验参数对SiN_x薄膜结构、化学配比以及机械性质的影响. 结果表明，SiN_x薄膜中Si-N结构、化学配比及机械性质与等离子体中的Si元素 含量关系密切，随着N₂流量的增加或者Si靶溅射功率的降低，等离子体中的Si 元素含量降低，SiN_x薄膜结构、化学配比及硬度发生变化，红外光谱发生偏移 ，硬度下降，沉积速率降低. 关键词： x')" href="#">SiN_x 磁控溅射 傅里叶变换红外吸收光谱 X射线电子谱     

新课改:高师数学教育专业学生终身数学素质的自组织生成——基于超循环理论的模型构建

20世纪60年代,法国著名教育家保尔·郎格朗在其代表作<终身教育引论>中提出了"终身教育"的思想和理论.这种"终身教育"的教育理念,对世界各国的教育实践和研究产生了深远的影响.数学作为教育的重要组成部分当然也受到终身教育理念的积极影响.