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专业分类

物理学

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出版年

2001年

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PtSi超薄膜厚度的一种检测方法研究 总被引：4，自引：0，他引：4

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刘爽宁永功张毅张怀武陈艾刘俊刚杨家德李昆《物理学报》2001,50(8):1447-1450

介绍了采用角分辨X-射线光电子解谱(angle resolved X-ray photoelectric spectrum(ARXPS))测试薄膜不同角度光电子能谱强度,计算电子平均自由程,从而计算出PtSi超薄膜厚度的方法,并给出其透射电子显微镜(TEM)晶格象验证结果.实验表明该方法简单易行,适用于其他超薄膜厚度的测量 关键词： PtSi超薄膜小角度X射线电子能谱 TEM晶格象相似文献