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利用射频等离子体化学气象沉积法(r.f.PECVD),在12μm厚的聚对苯二甲酸乙二醇酯 (PET)上制备了碳氢膜. 用原子力显微镜(AFM),x射线光电子能谱(XPS),激光拉曼光谱,傅里叶红外光谱等仪器,对碳氢膜的表面形貌和内部结构特性进行了较详细研究. 镀碳氢膜PET的阻隔性能在标准透水蒸气测试仪上进行检测. 实验结果证明:沉积工艺参数对碳氢膜的生长速率及结构性能有重要影响;在PET上沉积的是纳米碳氢膜,该膜主要由sp2和sp3杂化的碳氢化合物组成;当PET上碳氢膜厚度为900nm时,阻水蒸气性能可提高7倍.
关键词:
碳氢膜
射频等离子体化学气象沉积法
聚对苯二甲酸乙二醇酯
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