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1.
3.
Phase shift effects of radio-frequency bias on ion energy distribution in continuous wave and pulse modulated inductively coupled plasmas 下载免费PDF全文
A retarding field energy analyzer(RFEA) is used to measure the time-averaged ion energy distributions(IEDs) on the substrate in both continuous wave(CW) and synchronous pulse modulated radio-frequency(RF) inductively coupled Ar plasmas(ICPs).The effects of the phase shift θ between the RF bias voltage and the RF source on the IED is investigated under various discharge conditions.It is found that as θ increases from 0 to π,the IED moves towards the low-energy side,and its energy width becomes narrower.In order to figure out the physical mechanism,the voltage waveforms on the substrate are also measured.The results show that as θ increases from 0 to π,the amplitude of the voltage waveform decreases and,meanwhile,the average sheath potential decreases as well.Specifically,the potential drop in the sheath on the substrate exhibits a maximum value at the same phase(i.e.,θ = 0) and a minimum value at the opposite phase(i.e.,θ = π).Therefore,when ions traverse across the sheath region above the substrate,they obtain less energies at lower sheath potential drop,leading to lower ion energy.Besides,as θ increases from π to 2π,the IEDs and their energy widths change reversely. 相似文献
4.
砂尘浓度指标严重影响砂尘风洞试验效果;在大型砂尘风洞中准确的测量及有效的控制砂尘浓度是砂尘风洞设备研制中的两个关键问题;针对动态试验工况环境中浓度传感器标定的问题,分析了浓度测量时标定参数与风速和浓度的关系,使用模型树算法建立了三者之间的关系模型,以此模型来预测各种动态情况下的标定参数;针对复杂环境下浓度动态控制问题,采用专家PID算法,提出了多回路控制系统结构和专家规则;工程实践表明该测量和控制方法满足了动态试验环境的需求,取得了良好效果;模型树算法和专家PID系统能有效的解决动态工况下砂尘浓度的测量与控制问题。 相似文献
5.
运用共沉淀和元素化学沉积相结合的方法,制备出了具有Ag/C包覆层的层状富锂固溶体材料Li [Li0.2Mn0.54Ni0.13Co0.13]O2.通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、恒流充放电、循环伏安(CV),电化学阻抗谱(EIS)和X射线能量散射谱(EDS)方法,研究了Ag/C包覆层对Li[Li0.2Mn0.54Ni03Co013]O2电化学性能的影响.结果表明,Ag/C包覆层的厚度约为25 nm,Ag/C包覆在保持了固溶体材料α-NaFeO2六方层状晶体结构的前提下,显著地改善了Li[Li0.0Mn054Ni0.13Co013]O2的电化学性能.在2.0-4.8 V (vs Li/Li+)的电压范围内,首次放电(0.05C)容量由242.6 mAh·g-1提高到272.4 mAh·g-1,库仑效率由67.6%升高到77.4%;在0.2C倍率下,30次循环后,Ag/C包覆的电极材料容量为222.6 mAh·g-1,比未包覆电极材料的容量高出14.45%;包覆后的电极材料在1C下的容量仍为0.05C下的81.3%.循环伏安及电化学交流阻抗谱研究表明,Ag/C包覆层抑制了材料在充放电过程中氧的损失,有效降低了Li[Li02Mn0.54Ni0.13Co013]O2颗粒的界面膜电阻与电化学反应电阻. 相似文献
6.
丘脑底核(STN)深部脑刺激(DBS)已成为帕金森病的重要外科治疗手段,然而其确切的作用机理尚不明确.本研究采用微机电系统(MEMS)技术制备了一种16通道植入式微电极阵列(MEA),在MEA表面修饰了铂黑-还原氧化石墨烯-Nafion膜(Pt/RGO/Nafion)纳米材料,用于同步检测麻醉大鼠脑内纹状体神经元在STN电刺激前后多巴胺(DA)含量和动作电位(Spike)发放变化.STN-DBS结果表明,电刺激20 s后,DA含量开始升高,最高达1.72 μmol/L,较高浓度状态保持约50 s后回落至正常水平.与此同时, 检测到在DA上升阶段中间神经元Spike发放活动增强,在保持高于DA正常浓度水平阶段,中等多棘神经元(MSNs)放电频率增加.本研究制备的微电极阵列传感器能够实现脑内多巴胺和电生理的原位实时检测,有望成为神经信息检测的有力工具. 相似文献
7.
8.
以聚碳酸酯超滤膜为基板,用化学镀的方法在超滤膜上沉积金,制得直径在45nm左右的金纳米通道阵列,利用制得的金纳米通道阵列搭建离子电流测量平台,可实现对羊抗人IgG分子的浓度检测.当羊抗人IgG分子通过直径45nm的金纳米通道时,由于物理占位及表面电荷的影响,会引起离子电流发生变化;在KCl浓度为0.15mol/L(pH7.48)溶液中,IgG分子的物理占位对离子电流有阻塞作用,会导致电流减小,IgG浓度在1.8~18ng/mL范围内,减小量与浓度成线性关系;实现了对IgG的定量检测.KCl浓度降低到0.025mol/L时,由于IgG分子扩散层内反离子对通道内离子浓度的贡献占主导地位,从而造成离子电流随着IgG浓度增大而增大. 相似文献
9.
10.
在沙丁机基础上,实现了反射式动态云纹测量法。该法可用于不透明模型的动态位移,应变及应力场的研究。 相似文献