多用小型磨损试验机

为了评定薄层硬质材料(如离子注入,离子束混合技术表面改性等得到的)的耐磨性研制了一台小型磨损试验机。本文介绍了该试验机的设计指标、基本结构、用途和磨损测量方法—等深划痕法等。该试验机还设有可测量摩擦系数的往复式摩擦试验装置和球柱试样磨损试验装置。並对试验结果进行了讨论。     

弗里曼源产生N_(10)~+团簇的研究

介绍热阴极弧放电弗里曼源产生Ｎ１０＾＋团簇的结果。研究了Ｎ１０＾团簇的产生与氮的气体流量、辅助磁场强度、弧电压、弧放电功率等离子源参数之间的关系,初步揭示出可能存在一种新的团簇形成机制。这种机制有别于通常的绝热长冷凝团聚机制。     

氮原子、分子与团簇离子注入Si(111)的特性研究

用椭偏仪、傅氏变换红外吸收谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)以及原子力显微镜(AFM)对N⁺₁,N⁺₂,N⁺₁₀离子高剂量(1.7×10¹⁷ions/cm²)注入Si(111)的表面进行测试分析,发现三种不同尺度的离子注入后,均使Si由复折射率变化为实折射率,表面出现含氮硅键的介质层.但其表面形貌各异:N^{+关键词： 氮团簇注入 表面特性}     

弗里曼源产生N_(10)~ 团簇的研究

介绍热阴极弧放电弗里曼源产生N 10 团簇的新结果。研究了N 10 团簇的产生与氮的气体流量、辅助磁场强度、弧电压、弧放电功率等离子源参数之间的关系 ,初步揭示出可能存在一种新的团簇形成机制。这种机制有别于通常的绝热膨胀冷凝团聚机制。