铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战

铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点，其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始，超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发，分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法，总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验；最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状，分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式，提出了解决这些问题的总方向. 关键词： 电迁移 铝互连 微结构     

宽带膜厚实时监控过程中膜层折射率的确定方法

为了准确计算出镀膜过程中每层膜的折射率，介绍了实时监控过程中确定膜层折射率的2种方法：一种是由实测的透射比光谱直接反算出膜层的折射率；另一种是用最小二乘法的优化算法实时拟合折射率。试验结果表明：在线反算适合单点监控，所得折射率误差小于2%。然而在实际镀膜过程中,由于宽带内膜层参数误差较大,一般大于25%。为此，采用最小二乘法拟合，即在整个宽光谱范围内采集每个波长点的信息，所得结果误差很小，一般都在2％～5%之间,有时可达到10%,在很大程度上提高了实际镀膜时膜厚监控的精度。     

关于一类非散度型非线性退化抛物方程的一些结果

In this paper, we are concerned with the initial and boundary value problem for the following equations not in divergence form:     

膨胀的热夸克胶子物质的中等质量双轻子的增强

基于一个描述夸克胶子火柱演化的相对论流体力学模型,研究了夸克相、强子相互作用以及非热过程(DrellYan对、粲强子衰变)的中等质量双轻子的产生.发现由于相边对夸克胶子物质演化的影响和RHIC能量核碰撞产生的夸克胶子物质具有高的初始温度,夸克相对双轻子的贡献显著增强,比那些来自强子相互作用的贡献重要,甚至能与来自非热的贡献比较.表明中等质量双轻子的增强是一个在核碰撞中产生了夸克胶子物质的可能信号. 关键词： 夸克-胶子物质 双轻子增强 相对论流体力学模型     

被积函数中含exp(-x~2/2)的不定积分

众所周知,函数exp(-x~2/2)的原函数不能用初等函数来表示,此时,我们说“积不出”。本文在此意义下仅就被积函数中含exp(-x~2/2)的积分进行了讨论。首先考虑积分,然后是积分为多项式),得到了在应用上较为方便的结果。     

高精度多探头磁场测量系统

兰州重离子研究装置的磁场测量系统已于1983年10月建立. 多探头长臂上装有94个霍尔片. 测磁支架采用长臂、动环和定环组成的以加速器几何中心为原点的极坐系结构. 由小型计算机承担自动控制和数据的获取与处理工作. 对16KG磁场, 本系统的测量重复性好于±5×10^－5, 测量精确度估计为±1×10^－4. 测量速度约为每分钟188个数据.     

利用排列熵检测近40年华北地区气温突变的研究

运用一种新的动力学突变检测方法——排列熵(permutation entropy，PE)算法，计算并分析了中国华北地区52个站点1960年—2000年逐日平均气温资料的排列熵演化情况，发现中国华北地区气温在20世纪70年代中期、80年代初均发生了较大突变；进一步用经验模态分解(empirical mode decomposition，EMD)方法对排列熵序列进行逐级平稳化处理，结果发现这一地区的气温突变与准10年这一年代际时间尺度的周期变率密切相关，其原因与太阳黑子活动有着密切联系. 关键词： 华北 突变 排列熵算法 经验模态分解     

一个基于运输规模经济的库存选址模型

介绍了一种新的配送中心(DC)选址模型,在该模型中考虑了一般库存和安全库存成本,同时把从供应商到DC的运输成本也结合进去综合考虑,运输成本是由固定成本加可变成本两部分组成,反映了运输规模经济.     

奇偶相干态的Wehrl熵和Shannon熵

研究了奇、偶相干态的Ｗｅｈｒｌ熵和Ｓｈａｎｎｏｎ熵，结果表明，其Ｗｅｈｒｌ熵随总噪声的增加而增大，并趋向同一个常数。Ｓｈａｎｎｏｎ熵随力学量起伏的减小而减小，且这两种态的Ｓｈａｎｎｏｎ熵均可小于相干态的Ｓｈａｎｎｏｎ熵，但这时并不与压缩效应的出现相对应，因而Ｓｈａｎｎｏｎ熵不能成为压缩存在的判据。     

θ*r,s,t-图与唯一2-列表染色图的特征化

如果一个图G存在一个k-列表安排使得G具有一个唯一列表染色,则称 G是唯一列表可染色图,简称UkLC图．我们称图G具有M(k)性质当且仅当G不 是UkLC图．本文在借鉴θr,s,t-图概念的基础上引入θr,s,t-图的定义,并证明:除了 r=s=t=2以外,θr,s,t-图都是U2LC图．利用如上结果我们给出M．Mahdian and E．S．Mahmoodian对U2LC图所作特征化的一个简单证明．