超小型声表面波谐振器

传统声表面波谐振器中的指条反射阵占据了器件的大部分尺寸。由于剪切横波(SH wave)在材料基片的自由端面反射时不产生模式转换,因此可望利用自由端面来代替SH型声表面波谐振器中的指条反射阵,实现超小型低损耗的新型声表面波谐振器。本文首先用COM理论对新结构的谐振器进行了讨论,并且在实验上实现了120MHz至440MHz的几个单端谐振器(ST36°石英基片),其插入损耗从0.87dB至1.29dB,面积缩小到传统谐振器的50％至25％。     

Y旋转切割石英基片上的准纵漏表面声波

在理论和实验上对Y旋转切割石英基片上的准纵漏表面声波(快速声表面波)的传播特性作了比较全面的研究。准纵漏表面声波的相速度可以达到6200m/s～7100m/s,是常规声表面波相速度的两倍,接近纵波速度。理论计算和实验结果均表明:在Y旋转切割石英基片的某些传播方向上,准纵漏表面声波的束偏向角和延迟温度系数均较小。例如,沿欧拉角(0°,155.25°,42°)方向的准纵漏表面声波的相速度和延迟温度系数的实验测量值分别为6201m/s和12.9 ppm/℃。实验还表明,放置于基片表面的液体对准纵漏表面声波的吸收不大,说明此种声波质点振动集中在传播方向(沿表面方向),具有纵波的性质。