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91.
In the paper, chemical mechanical planarization(CMP) of Ge2Sb2Te5(GST) is investigated using IC1010 and Politex reg pads in acidic slurry. For the CMP with blank wafer, it is found that the removal rate(RR) of GST increases with the increase of pressure for both pads, but the RR of GST polished using IC1010 is far more than that of Politex reg. To check the surface defects, GST film is observed with an optical microscope(OM) and scanning electron microscope(SEM). For the CMP with Politex reg, many spots are observed on the surface of the blank wafer with OM, but no obvious spots are observed with SEM. With regard to the patterned wafer, a few stains are observed on the GST cell, but many residues are found on other area with OM. However, from SEM results, a few residues are observed on the GST cell, more dielectric loss is revealed about the trench structure. For the CMP with IC1010, the surface of the polished blank wafer suffers serious scratches found with both OM and SEM, which may result from a low hardness of GST, compared with those of IC1010 and abrasives. With regard to the patterned wafer, it can achieve a clean surface and almost no scratches are observed with OM, which may result from the high-hardness SiO2 film on the surface, not from the soft GST film across the whole wafer. From the SEM results, a clean interface and no residues are observed on the GST surface, and less dielectric loss is revealed. Compared with Politex reg, the patterned wafer can achieve a good performance after CMP using IC1010.  相似文献   
92.
First principles calculations are preformed to systematically investigate the electronic structures, elastic and thermodynamic properties of the monoclinic and orthorhombic phases of Si C2N4 under pressure. The calculated structural parameters and elastic moduli are in good agreement with the available theoretical values at zero pressure. The elastic constants of the two phases under pressure are calculated by stress–strain method. It is found that both phases satisfy the mechanical stability criteria within 60 GPa. With the increase of pressure, the degree of the anisotropy decreases rapidly in the monoclinic phase, whereas it remains almost constant in the orthorhombic phase. Furthermore, using the hybrid density-functional theory, the monoclinic and orthorhombic phases are found to be wide band-gap semiconductors with band gaps of about 2.85 e V and 3.21 e V, respectively. The elastic moduli, ductile or brittle behaviors, compressional and shear wave velocities as well as Debye temperatures as a function of pressure in both phases are also investigated in detail.  相似文献   
93.
本文采用二乙醇胺(DEA)作为化学吸收剂,通过流程模拟工具Aspen plus对电厂烟道气的CO_2捕集过程进行模拟,分析各个关键参数对系统性能的影响。最后利用MATLAB软件构建了三种模型,对CO_2捕集技术的环境影响进行评价。结论表明:升高吸收溶液温度会减少DEA溶剂损失,降低再沸器热负荷,不过提高溶液温度会消耗额外的能量;当吸收溶液质量分数为0.25时,再沸器消耗的等效功最少;在轮船运输场景下,当泄漏因子取0.05时,其有效排放因子大于参考电厂的排放因子,CCS技术在减缓气候变暖中不会起到作用.  相似文献   
94.
气凝胶纳米多孔隔热材料传热计算模型的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文研究并建立了气凝胶复合隔热材料传热计算模型.针对气凝胶纳米多孔材料的分形结构特征,结合规则交叉球杆结构,提出了气凝胶纳米多孔材料的分形交叉球杆结构模型,并以此结构模型为基础,建立了气凝胶纳米多孔材料热导率分形计算模型,模型中同时考虑了尺寸效应对气相、固相传热方式的影响.对气凝胶中添加的遮光剂、增强纤维等微米典型结构,以Mie辐射散射理论为基础,结合Rossland扩散近似模型,考虑了辐射传热对热量传递的增强作用;同时结合经典的两相系统等效热导率计算公式,获得复合材料的辐射导热耦合热导率计算模型.本文从纳米尺度的气凝胶多孔材料传热模型到微米尺度的气凝胶复合隔热材料传热模型,建立了完整的气凝胶纳米多孔复合隔热材料等效热导率计算模型.模型与多个文献中气凝胶材料热导率实验数值进行比较,获得了满意的结果,验证了模型应用于气凝胶复合隔热材料等效热导率预测计算方面的有效性.  相似文献   
95.
A high-power cw end-pumped laser device is demonstrated with a slab crystal of Nd:GdVO4 operating at 1063nm. Diode laser stacks at 880nm are used to pump Nd:GdVO4 into emitting level 4^F3/2. The 149 W output power is presented when the absorbed pump power is 390 W and the optical-to-optieal conversion efficiency is 38.2%. When the output power is 120 W, the M^2 factors are 2.3 in both directions. Additionally, mode overlap inside the resonator is analyzed to explain the beam quality deterioration.  相似文献   
96.
随着近年美、德、日等国研究小组的大容量高温超导飞轮储能系统(HTS FESS)样机的报道,具有控制简单、储能密度大、效率高、寿命长、应用范围广等优点的HTS FESS已经被广泛认可。综合主要研究小组的工作发现,采用高温超导磁悬浮轴承与永磁轴承配合的结构在保证飞轮转子轴向和径向都稳定的同时,具有成本低的优势。针对这种混合轴承布置方式,文中对超导飞轮储能用永磁轴承的承载能力进行了研究,通过有限元仿真分析提出了一种径向型永磁轴承的优化方案,相关结果可为后续样机研究提供一定的参考。  相似文献   
97.
基于相位一致性的实时压缩跟踪方法   总被引:1,自引:0,他引:1  
张雷  王延杰  何舒文 《光子学报》2014,43(8):810003
针对基于压缩感知的目标跟踪算法在跟踪过程中,光照剧烈变化引起跟踪不稳定或跟踪失败的问题,本文提出了一种基于相位一致性的改进跟踪方法.该方法利用相位一致性图像特征对光照变化不敏感的特点,首先对样本搜索区域内的图像进行相位一致性变换,然后再提取变换后相位一致性图像的特征,将其用于分类器中来确定目标位置.实验结果表明,该方法在目标受到光照剧烈变化影响的情况下具有很强的适应性,在目标大小为50pixel×55pixel时平均处理帧频可达22fps.与已有基于压缩感知跟踪算法相比,该算法在光照变化剧烈的情况下仍具有很好的鲁棒性,而且在目标尺度和纹理发生一定变化的情况下跟踪稳定.  相似文献   
98.
钢筋混凝土(RC)单向板是桥梁建设的重要组成部分. 对6块高强RC单向板进行非接触爆炸试验, 研究HRB400、HRB500和HTRB600高强RC单向板的抗爆性能, 分析爆炸后试件的破坏形态和参数. 结果表明 非接触爆炸下, 3种类型高强钢筋混凝土单向板的破坏形态相似, 单向板整体响应后出现弯曲破坏, 侧表面出现多条弯曲破坏裂缝; 在2.5kgTNT作用下的HTRB600高强RC单向板的裂缝数量和裂缝类型与2.1kgTNT作用下的HRB500高强RC单向板和1.7 kgTNT作用下的HRB400高强RC单向板差别不大, 相差范围在1条裂缝以内; HTRB600高强RC单向板在承受更大载荷时, 其平均加速度峰值比低载荷下HRB500、HRB400高强RC单向板分别增加45.1%和88.6%, 其抗弯承载力更好, 刚度更大.  相似文献   
99.
IntroductionInLES,thelargescalesintheflowarecomputedexplicitlyandthesubgrid_scales(SGS),whicharefilteredoutbyanaverageprocessoperationontheNavier_Stokesequations,aremodeled.SinceLESrequireslesscomputertimethanthedirectnumericalsimulationsandusessimplera…  相似文献   
100.
二维弹性结构入水冲击过程中的流固耦合效应   总被引:11,自引:0,他引:11  
卢炽华  何友声 《力学学报》2000,32(2):129-140
描述了一个研究弹性结构入水冲击过程中水弹性效应的数值方法,在弹性结构入水冲击过程中,流体域作用在结构上的水动力载荷由边界元法获得,而结构的弹性动力响应则由有限元方法求解,通过线性给离散Bernoulli方程将有限元方程和边界元方程耦合到一起,从而获得了求解流场和结构动力响应的相互耦合的运动方程。在数值考虑了自由表面的非线性边界条件,通过引入射流单元以及最大射流厚度,较好地处理了冲击引起的射流问题。  相似文献   
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