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71.
半导体芯片化学机械抛光过程中材料去除机理研究进展   总被引:8,自引:7,他引:8  
就国内外关于集成电路芯片化学机械抛光(CMP)材料去除机理研究的现状和进展进行了评述,总结了集成电路芯片常用介电材料二氧化硅以及导电互连材料钨、铝及铜的化学机械抛光研究现状和进展,进而分析了化学机械抛光过程中化学作用同机械作用的协同效应,指出关于芯片化学机械抛光的材料去除机理尚存在争议,因此有必要在CMP研究领域引入原子力显微镜和电化学显微镜等先进分析测试设备和相关技术,以便在深入揭示CMP过程中材料去除机理的基础上,为更好地控制CMP过程和提高CMP效率提供科学依据.  相似文献   
72.
基于已有试验,本文提出了轴向弹簧和转动弹簧约束的组合框架简化计算模型,推导了在集中荷载作用下刚性、半刚性连接平面组合梁双跨钢框架移除中柱后的荷载-跨中挠度曲线计算公式,考虑了压拱效应和连接刚度的影响,将公式计算结果与试验结果进行对比证明了推导过程和计算公式的可靠性.在对比结果的基础上,根据已有试验和模拟结果对已有悬索阶段的计算公式进行修正,修正后的公式与试验结果吻合较好.  相似文献   
73.
对于含MoS2的复合材料在单向滑动摩擦条件下的实用性能,人们已经进行了比较多的研究,然而许多摩擦部件在工程实际中经受的却都是往复摩擦。为了探明热压Ni-MoS2复合材料的自润滑性能及其耐磨机理,在往复摩擦条件下研究了这种材料盘表面和偶件GCr15钢球表面之MoS2膜的形成过程与形貌特征,并且利用扫描电子显微镜等观察分析了MoS2膜的磨损表面形貌及其微区成分。结果表明,在给定的往复摩擦条件下,对偶双  相似文献   
74.
土-桩-结构相互作用体系随机地震反应分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
陈清军  朱庆群 《力学季刊》2004,25(3):417-423
本文采用随机振动理论与有限元技术相结合的方法,以基岩随机地震作为输入,对群桩基础和土-桩-结构相互作用体系进行了三维随机地震反应分析。文中首先以一3X3群桩基础作为分析模型,探讨了桩-土-桩动力相互作用对承台随机地震反应的影响;然后,用单自由度体系模拟上部结构,分析了上部结构惯性对桩基承台随机地震反应的影响。在此基础上,以某桥桥墩为背景,用多自由度体系模拟上部结构,建立了土-桩-结构相互作用体系的三维分析模型,获得了桩基承台的功率谱响应、以及桩顶处的主应力标准差和主应力速率标准差等结果,探讨了群桩顶部各桩主应力标准差的分布规律,得到了一些有应用价值的结果。  相似文献   
75.
玻璃态高聚物细观损伤断裂统计力学   总被引:12,自引:2,他引:12  
李强  宋名实 《力学进展》1995,25(4):451-470
对玻璃态高聚物内部细观损伤断裂判据、机理、动力学及统计模型的最新进展,进行了较为全面、系统的介绍和总结,并简要概述了细观损伤统计描述在金属材料及玻璃态高聚物领域里的应用。  相似文献   
76.
金—稀土合金电刷丝的磨损机理研究   总被引:9,自引:0,他引:9  
虞澜 《摩擦学学报》2002,22(4):282-285
采用扫描电子显微镜、微区电子探针及 X射线光电子能谱等分析测试技术考察了金 -稀土合金电刷丝摩擦副的磨损机理 .结果表明 :该摩擦副的摩擦磨损机理为轻微粘着磨损 ;合金中稀土元素发生偏聚 ;在摩擦升温过程中 ,稀土元素向合金表面扩散富集 ,摩擦副接触表面氧化层不断生成和磨损 ,从而降低电刷丝的表面能 ,使摩擦副的接触表面粘着能降低 ,从而改善其摩擦磨损  相似文献   
77.
复合纤维增强混凝土阻尼测试装置开发与试验研究   总被引:9,自引:0,他引:9  
纤维与聚合物的掺入可以明显改善混凝土材料的阻尼性能。本文首先给出了正弦交变激励下粘弹性材料三点弯曲梁阻尼特性关系,其次首次自主开发了大尺寸材料的阻尼性能测试装置,然后利用开发的装置在频率(0.5~2.0Hz)条件下测定了6种不同配比复合纤维增强阻尼混凝土的损耗因子与储存模量,最后对纤维的阻尼增强机理进行了初步探讨。试验结果表明:复合纤维增强阻尼混凝土与素混凝土相比,提高了混凝土的损耗因子80%~200%。主要原因是聚合物分子在外力作用下的内耗增加了普通混凝土的阻尼能力,而纤维的阻尼增强机理在于纤维的掺入增加了纤维与水泥基材的界面摩擦力。  相似文献   
78.
下承式梁拱组合桥梁的梁拱协作机理研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
易云煙  肖汝诚 《力学季刊》2007,28(1):153-159
文章将外部静定、内部高次超静定的梁拱组合桥梁分解成梁拱闭合体和吊杆两种构件,并且将吊杆力假定为膜张力,求解出了梁拱组合桥梁在均布荷载作用下拱肋分担的荷载大小及其修正系数,明确了其传力途径,定量地求出了梁拱分担的荷载比例,拱梁的拉压力偶矩大小以及梁拱截面的弯矩,并讨论了拱梁荷载比、弯矩比的影响因素及其关系,完整地揭示了下承式梁拱组合桥梁的梁拱协作机理.  相似文献   
79.
评述了口腔摩擦学系统的特征与参数、口腔磨损环境以及天然牙和牙科材料的磨损机理,简要介绍了目前国内外关于天然牙和牙科材料的磨损性能测量方法以及口腔磨损环境模拟测试系统的研究现状,指出今后在考虑化学环境和各种力等因素协同作用条件下,应加强牙科材料的磨损机理、磨损预测模型及其标准的实验方法和模拟系统的建立等方面的研究.  相似文献   
80.
岩石加卸荷破坏细观机理CT实时分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
代革联  李新虎 《力学学报》2004,12(1):104-108
利用与CT(computerizedtomography)机配套的专用岩石三轴加载试验设备 ,采用CT实时试验的手段对连续加载试验条件下和卸围压应力作用下砂岩破坏细观机理进行了对比研究。结果表明 ,岩石的卸荷损伤演化破坏具有突发性 ,卸围压破坏导致的扩容比连续加载破坏时大.  相似文献   
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