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71.
光纤白光干涉法与膜厚纳米测量新技术研究 总被引:6,自引:3,他引:3
运用薄膜光学干涉原理、光纤技术和干涉光谱分析技术,用光纤反射式干涉光谱仪(Reflectromic Interference Spectroscopy)直接测试宽带入射光在单晶硅表面超薄SiO2膜层前后界面反射形成的干涉光谱曲线,并用专业软件对被测光谱信号数据处理后,可直接用公式准确计算出SiO2氧化膜的厚度和光学折射率通过对单晶硅片表面超薄SiO2氧化膜的实测,并与成熟的椭圆偏振仪测试结果相比,测试误差≤2nm但该方法测试简单、快速,精度高,不需要制定仪器曲线和数表,可对薄膜任意位置的厚度在线测试经过对不同厚度聚苯乙烯薄膜的厚度测试表明,该方法适合0.5~20μm薄膜厚度的精确在线测量,测量误差小于7nm. 相似文献
72.
高精度全息干涉计量—相移技术的应用 总被引:2,自引:1,他引:1
本文介绍了一种精确的全息干涉相位测量系统。采用双曝光、双参考光束,并引入相移技术,能够同时获得全场256×256个点的相位变化值;相位测量的重复性优于2%,全场处理时间少于2分钟。 相似文献
73.
本文将相移技术应用在频闪全息干涉计量中,获得了振动物体的定量分析结果.分析了频闪光脉冲宽度对计算结果的影响,并给出了实验结果. 相似文献
74.
75.
76.
Bansch空间中全纯映射的若干性质 总被引:4,自引:2,他引:2
本文将全纯映射的若干性质推广到Banach空间,并应用这些性质研究有界域中的凸映射与星形映射。 相似文献
77.
Frequency-dependent capacitance-voltage (C-V) measurements have been performed on modulation-doped Al0.22 Ga0.78N/GaN heterostructures to investigate the characteristics of the surface states in the AlxGa1-xN barrier. Numerical fittings based on the experimental data indicate that there are surface states with high density locating on the AlxGa1-xN barrier. The density of the surface states is about 10^12cm^-2eV^-1, and the time constant is about 1μs. It is found that an insulating layer (Si3N4) between the metal contact and the surface of AlxGa1-xN can passlvate the surface states effectively. 相似文献
78.
根据文(1)的思想对一类奇异摄动问题给出了高精度的任意不等距二点差分格式,在边界条件处理上对文(1)的算法作了改进,使算法不等距,在奇异点附近网格可任意加密并重点研究了离散方程组的计算方法。数值试验表明,本算法在处理奇异摄动问题时更灵活,更有效。 相似文献
79.
稳定性理论是数学规划的重要理论问题之一.主要研究约束集合、扰动函数(最优值函数)、最优解集合与参数扰动之间的关系.稳定性问题的研究也有助于探讨算法收敛性和稳定性.稳定性问题的研究始于70年代.Rockafellar 等人,首先研究了凸规划的稳定性.近些年来才开始研究一般非凸规划的稳定性.Gauvin 等人对非凸规划研究了扰动函数的稳定性与微分稳定性问题,讨论了在一些特殊形式参数扰动的情况下, 相似文献
80.