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61.
一种微型FAIMS传感器芯片的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子化区中聚焦电极的电场作用,实现离子在进入迁移区之前的聚焦,提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr(300nm/30nm)金属,并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体(ICP)工艺刻蚀的硅片键合,形成迁移区的矩形通道,尺寸为10mm×5mm×0.2mm.离子检测区为三排直径200μm、间距100μm交错排列的圆柱阵列式微法拉第筒,能同时检测正负离子.采用频率为2MHz,最大电压为364V,占空比为30%的高场非对称方波电压进行FAIMS芯片实验.以丙酮和甲苯为实验样品,载气流速80L·h-1,补偿电压从-10V到3V以0.1V的步长进行扫描,得到了丙酮和甲苯的FAIMS谱图,验证了FAIMS芯片的性能.丙酮和甲苯的FAIMS-MS实验进一步表明FAIMS系统实现了离子分离和过滤功能. 相似文献
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过渡族元素掺杂ZnO生成稀磁半导体, 成为近期国际材料科学研究的热点. 在本文中, 研究Fe离子注入ZnO单晶的结构和磁性变化, 目标是建立磁性和结构的对应关系, 澄清铁磁性的来源. 采用卢瑟福背散射/沟道技术 (RBS/Channelling)、同步辐射X射线衍射 (SR-XRD)和超导量子干涉仪 (SQUID), 研究注入温度和退火对样品的晶格损伤、结构及磁性的影响. 研究表明: 样品注入区损伤随注入温度升高而降低; 低温253 K注入样品中, SR-XRD未检测到新相, Fe离子分布于Zn位, ZnO (0002) 峰右侧肩峰可能属于Zn1-xFexO, 5 K下测试样品不具有铁磁性; 623 K注入和823 K真空退火 (253 K注入) 样品中形成α和γ相金属Fe, 5 K下样品具有明显的剩磁和矫顽力, 零场冷却和场冷却 (ZFC/FC) 曲线和300 K下的磁滞回线显示纳米Fe颗粒具有超顺磁性. Fe离子注入ZnO的磁性源于第二相α-Fe和γ-Fe.
关键词:
离子注入
ZnO
同步辐射X射线衍射
超顺磁性 相似文献
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用AM1、 PM3及INDO系列方法研究了C 相似文献
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用准连续60W的二极管激光列阵侧面泵浦“之”字形Nd:YAG板条激光器,当泵浦功率为45W,脉宽为400μs时,得到3.5mJ的激光输出。用KD*P电光开关调Q,得到18ns(FWHM)、2mJ的脉冲激光输出,用KTP晶体作腔内倍频,得到15ns、0.85mJ的二次谐波激光输出。在腔内无调Q元件且腔长小于5cm时,于近阈值处得到单频绿光输出,而当泵浦功率稍大,腔内有数个纵模振荡时,观察到激光的反相态,并用数值模拟的结果对此作了解释。 相似文献
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支持向量机回归方法在地表水水质评价中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
马文涛 《数学的实践与认识》2007,37(9):45-50
将支持向量机方法应用于地表水质评价问题中,建立了多指标水质综合评价的支持向量机回归模型.在地表水质评价标准的基础上采用内插法获得学习样本,经过训练,得到水质评价的分类区间;然后以实测资料对所建模型进行检验,研究结果表明,支持向量机回归模型性能良好、预测精度高、简便易行,是水质评价的一种有效方法,具有广阔的应用前景. 相似文献
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介绍了利用高频场处理经浆,改善固井水泥浆流变性和水泥抗压强度的实验结果,初步探讨了作用机理。 相似文献