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化学机械抛光(chemical mechanical polishing, CMP)是用于获取原子级平面度的有效手 段.目前,CMP的抛光液通常使用纳米级颗粒来加速切除和优化抛光质量.这类流体的流变性 能必须考虑微极性效应的影响.对考虑微极性效应的运动方程的求解,有助于了解CMP的作用 机理.数值模拟表明,微极性将提高抛光液的等效黏度从而在一定程度上提高其承载能力, 加速材料去除.这在低节距或低转速下尤为明显,体现出其具有尺寸依赖性.通过改变抛光液 中粒子的微极性,用实验研究了微极性效应对CMP中材料去除速率的影响,证明了分析的合 理性.
关键词:
化学机械抛光
微极流体
抛光液
流变特性
材料去除速率 相似文献
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斜拉索振动控制中MR阻尼器选型的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
以全索全时段振动响应的均方根(RMS)评价MR阻尼器对斜拉索的减振效果。计算结果表明MR阻尼器型号是影响斜拉索减振效果的最主要因素。斜拉索的减振效果在选用合适的MR阻尼器时达到最佳。进而研究了MR阻尼器型号与阻尼器安装位置、施加的电压、斜拉索基频(张力、索长、质量)、激励荷载(类型、频率、幅值)等各种因素的关系,为MR阻尼器合理选型提供了优化设计的方法。型号选用主要是与斜拉索基频和MR阻尼器安装位置有关。在引起索基频变化的因素中,索质量对型号的选取影响最大;而索长对型号影响不大。对于索质量较大、张力较大、MR阻尼器安装位置较低、外界激励较大、频谱特征多变、低频为主时需要较强的MR阻尼器。进一步研究表明,半主动控制与开环控制的最优MR阻尼器型号有较好的一致性,因此半主动控制所选用的MR阻尼器型号可参照被动控制时最优MR阻尼器型号。 相似文献
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结构振动的滑模变结构半主动控制 总被引:1,自引:0,他引:1
研究应用磁流变阻尼器(MRD)对结构振动半主动控制的算法和原理。研制并对磁流变阻尼器进行了阻尼特性实验,采用非线性滞回双粘性模型描述磁流变阻尼器的阻尼特性,模型结果与实验结果非常一致。采用滑模控制算法和趋近律方法设计了半主动控制器。利用滑模控制方法所建立的控制器,本文给出了地震激励下结构振动半主动控制算例。计算分析表明,半主动滑模控制具有控制效果明显、鲁棒性好等优点,是一种非常有发展前途的控制方法。 相似文献
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磁性液体的合成及生物医学应用 总被引:6,自引:0,他引:6
本文综述了纳米磁粉的化学合成及磁性液体的一般制备方法及其磁性、磁流变性和磁熵热效应等在靶向给药、栓塞治疗、温热治疗上的应用。 相似文献
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斜拉桥横向振动的半主动筋腱控制 总被引:2,自引:0,他引:2
对桥梁等大型土建结构在外扰作用下的振动实施控制是目前的一个研究热点,也是提高结构安全性与耐久性的一条重要途径。本文提出采用磁流变阻尼器(Magneto-Rheological Damper,MRD)与斜拉索构成的半主动筋腱(Semi-Active Tendon)实现斜拉桥横向振动的半主动控制的原理,讨论了其可行性、具体控制方案和控制算法,给出了一对一双索斜拉桥模型在随机扰动作用下的振动控制仿真结果 相似文献