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“回熔”依然是GaN-on-Si光电器件发展到今天的主要难题,严重影响量产的稳定性与器件的可靠性.当前“多腔+ AlN模板”生长法能避免镓回熔,但仍然无法解决“铝回熔”.本文从AlN微粒的来源,AlN生长动力学,AlN微粒引起Si衬底表面“台阶流”的局部畸变,晶格继承等方面全面分析无镓无铝环境重要性.通过对三款主流商用MOCVD进行比较分析,参考AIXTRON MOCVDG5氯气在线清洗工艺,对THOMAS SWAN CCS MOCVD气路进行改造,设计非钎焊耐氯7片机喷头,缩短喷淋头与石墨基座间距离,获得无镓无铝环境.该结果是有效研究回熔机制的基础,监测并控制反应室内的镓铝粉尘环境,有望从理论及机理上推动GaN-on-Si电子器件迈上新台阶. 相似文献
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杨刘 《数学年刊A辑(中文版)》2021,42(4):349-358
本文证明如下定理: 设f为Cn上的一个非常数整函数,LD(f) = akDkf +ak?1Dk?1f +· · · + a1Df + a0f,其中aj ∈ C, ak ≠ 0, Dj f是f的j阶全导数(j=1,2, · · ·,k).若f与LD(f)两个有穷的CM分担值, 则f=LD(f). 相似文献
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This paper completes the classification of (G, 2)-arc-regular graphs of square-free order where G is an almost simple group. 相似文献
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设{Xn,n≥0}是一列非齐次马尔科夫链,{an,n≥0}是一列固定的非负整数序列.首先构造了一个带参数的广义似然比函数,然后利用Borel-Cantelli引理证明随机变量序列几乎处处收敛性,得到了关于可列非齐次马氏链序偶广义平均的若干极限定理,推广了已有的结果. 相似文献
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本文研究了一类非线性奇摄动微分方程的激波解.利用匹配渐近展开法,构造了问题的解的渐近展开式,并利用微分不等式理论,证明了解的一致有效性. 相似文献
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对颗粒物的尺寸检测是生产中重要的环节,使用相机采集图像并处理是常用的非接触检测方法。围绕颗粒物的识别与尺寸检测需求,选用沙粒为检测对象,提出了一种改进颗粒物边界掩膜的Mask R-CNN模型。该模型结合经典的边缘检测技术,并利用深度学习模型预测掩膜,根据边缘分割的结果来得到更高精度的掩膜。使用DenseNet作为检测网络的主干网络,使得整体网络参数量更少,并利用通道注意力机制加强网络的特征提取能力。实验结果表明,改进的网络可以提高检测的精度,且结合图像处理的方式能够改善掩膜尺寸检测的准确度,为颗粒物的工业检测提供了一种有意义的方法。 相似文献
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For a monoid M, we introduce the concept of skew strongly M-reversible rings which is a generalization of strongly M-reversible rings, and investigate their properties. It is shown that if G is a finitely generated Abelian group, then G is torsion-free if and only if there exists a ring R with |R| ≥ 2 such that R is skew strongly G-reversible. Moreover, we prove that if R is a right Ore ring with classical right quotient ring Q, then R is skew strongly M-reversible if and only if Q is skew strongly M-reversible. 相似文献
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讨论了一类奇异摄动非线性分数阶时滞问题.首先利用奇异摄动方法求出了问题的外部解.再利用伸展变量法构造了问题在边界附近的两个边界层校正项,得出了所提问题的形式渐近解.最后,在合适的假设条件下,利用微分不等式理论证明了解的一致有效性,并给出了结论及未来的研究方向. 相似文献
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杨刘 《数学年刊A辑(中文版)》2019,(1):035-42
通过讨论亚纯映射相交移动超曲面的重级情况,进一步得到涉及亚纯映射关于超曲面亏量的唯一性定理. 相似文献