GeC薄膜的射频磁控反应溅射制备及性质

用射频磁控反应溅射法在ZnS衬底上制备了GeC薄膜,研究了工艺参数对Ge靶溅射及GeC薄膜红外透射性能的影响.衬底温度较低时GeC薄膜中含有H,形成了CH₂,CH₃,Ge-CH₃等,使薄膜产生红外吸收;随衬底温度升高,薄膜红外吸收明显减小.靶基距、射频功率、Ar:CH₄气体流量比、总气压对靶面中毒及溅射影响较大,但对GeC薄膜红外吸收影响较小.靶面中毒严重时,所制备无氢GeC薄膜附着性能差,随靶中毒减弱薄膜附着性能变好.优化工艺后,在ZnS衬底上制备了附着性能良好的无氢GeC薄膜,其折射率约为1.78,薄膜中C的含量比Ge的大,二者主要形成了C—Ge键.所制备的GeC/GaP红外增透保护膜系对ZnS衬底有良好的增透效果. 关键词： GeC薄膜 红外透射光谱 射频磁控溅射 XPS     

罗尔定理的三种推广形式

通过减弱罗尔定理成立的条件,给出并严格证明罗尔定理的三种推广形式,最后简单说明其应用．     

Lipschitz函数空间的John-Nirenberg不等式及其应用

本文证明了R~n上Lipschitz函数空间的John-Nirenberg不等式,由此得到了Lipschitz函数空间的一些新的范数等价刻划。此外还对Lipschitz函数空间的定义进行了弱化。     

并联型光电设备稳定平台的拓扑机构研究

舰载、车载和机载光电设备工作时需要绝对水平的环境,为消除运动载体摇摆对光电设备的影响,提出了一种二自由度并联稳定平台方案。应用拓扑理论,分析了并联稳定平台的输出特征矩阵和耦合度,并从工程化、实用化的角度考虑,通过布局方案的优化得到了含有四条主动支链和一条从动支链的并联稳定平台。采用矢量代数法,建立了并联稳定平台的运动学...